Conteúdo da sala limpa (fábrica) e instalações relacionadas

A construção e utilização doquarto limpodeve reduzir a introdução, ocorrência e retenção de partículas em ambientes fechados, ou seja, nenhuma ou menor introdução de partículas, nenhuma ou menor ocorrência de partículas, nenhuma ou menor retenção de partículas, etc.

De acordo com os requisitos de produção do produto, os parâmetroscomotemperatura, umidadevocê e pressão deve ser controlado.De acordo com os requisitos de produção do produto, a distribuição do ar, velocidade do ar, ruído, vibração, eletricidade estática, etc. na sala limpa também precisam ser controlados.Portanto, salas limpas (fábrica) e instalações relacionadas podem ser divididas aproximadamente em oito categorias:

(1) Equipamento de purificação de ar (equipamento de refrigeração,aparelho de ar condicionado, filtro,chuveiro de ar, mesa limpa);

(2) Sistema de sala limpa (chão/piso, teto /FFU, revestimento metálico, porta,janela de transferência/janela de observação, lâmpadas);

(3) Sistema de abastecimento de meio de processo (incluindo equipamentos) (água pura, gás puro, gás especial, produtos químicos);

(4) Controle de microvibração e proteção eletrostática;

(5) Sistema de roupas limpas, suprimentos para salas limpas (mesa, cadeira, armário, rack, aspirador de pó), consumíveis para salas limpas;

(6) Instrumentos de teste;

(7) Instalações de proteção ambiental (sistema de tratamento de gases residuais, sistema de tratamento de águas residuais);

(8)Ddispositivo dedicado (dispositivo de isolamento biológico, microambiente)

Os requisitos de controle do ambiente de produção na produção de produtos eletrônicos não só têm requisitos rigorosos sobre a limpeza do ar na sala, mas também têm requisitos rigorosos sobre o teor de impurezas de pureza de todos os tipos de meios de alta pureza em contato direto com o processo de produção de produtos eletrônicos - água de alta pureza, gás de alta pureza, produtos químicos de alta pureza, etc. Alguns produtos eletrônicos também têm requisitos mais rigorosos para vibração, eletricidade estática, interferência eletromagnética, fonte de alimentação, etc.