Sistema de água de resfriamento

　　O sistema de água de resfriamento de processo consiste nas seguintes partes: resfriadores, bombas, trocadores de calor, tanques de água, filtros e equipamentos de processo.

　　 Resfriador de água: Fornece fonte fria para o sistema de água de resfriamento.

　　Bomba d'água: pressurize a água para garantir sua circulação no sistema de refrigeração.

　　 Trocador de calor: Use este equipamento para trocar calor entre o sistema de água gelada e o sistema de água gelada para transferir o calor gerado na extremidade de carga do sistema para o sistema de água gelada.Existem muitos tipos de trocadores de calor, que podem ser divididos em tipo casco e tubo, tipo placa, tipo placa-aleta, tipo tubo de calor, etc.Em comparação, o trocador de calor a placas tem as vantagens de ocupar pouco espaço e ter uma grande área de transferência de calor.Considerando as características de custo do espaço e área de​​na fábrica de semicondutores, é preferível equipamento com uma área pequena para economizar área de terreno e custos de engenharia.

　　Tanque de água: O tanque de água no sistema aberto desempenha principalmente a função de complementar a fonte de água.A caixa d'água do sistema fechado precisa escolher uma caixa d'água de expansão.O tanque de expansão de água tem três funções.Uma delas é conter e compensar a expansão e contração da água no sistema;a outra é fornecer uma pressão estável ao sistema fechado de circulação de água e desempenhar um papel na estabilização do sistema;A terceira é uma indicação da bomba d'água do sistema, geralmente o tanque de expansão envia um sinal para ligar ou desligar a bomba d'água do sistema.

　　 filtro: filtrar a partícula sólidaExistem dois sistemas relativamente independentes no sistema de água de resfriamento do processo, água gelada e água de resfriamento.A água gelada é fornecida pelo chiller, e a água gelada e a água de resfriamento trocam calor para resfriar a água de resfriamento e reduzir a temperatura do equipamento.A água é bombeada do equipamento de produção através da bomba de água para o trocador de calor para garantir a temperatura da água de resfriamento do processo, controlando a quantidade de água gelada, e depois enviada para o equipamento da linha de produção após passar pelo filtro e depois de volta para a bomba d'água.A água de resfriamento do processo de formação circula repetidamente.A água gelada é devolvida diretamente ao chiller.